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FUJI,富士壓力傳感器
EPL4PC-R3S 500 7 -40 to 125 20 to 106.7 5.0±0.25 0.789 to 4.211 壓力
EPL6GC-R3S 500 7 -40 to 125 25 to 242 5.0±0.25 0.5 to 4.5 壓力
半導體壓電阻型
半導體壓電阻抗擴散壓力傳感器是在薄片表面形成半導體變形壓力,通過外力(壓力)使薄片變形而產生壓電阻抗效果,從而使阻抗的變化轉換成電信號。
靜電容量型
靜電容量型壓力傳感器,是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容,將通過外力(壓力)使可動極變形所產生的靜電容量的變化轉換成電氣信號。 (E8Y的動作原理便是靜電容量方式,其他機種采用半導體方式)。
有助于系統整體的小型化。另外,其適用的壓力范圍大,用途廣泛。
壓力測量
通過數字微調高精度
的偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。
其次是靈敏度誤差:產生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。
FUJI傳感器,富士壓力傳感器
三是線性誤差:這是個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。
zui后是滯后誤差:在大多數情形中,壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
可支持大范圍的壓力測量,滿刻度100kPa - 300kPa
富士電機的壓力傳感器將壓敏電阻、調節電路、EMC保護集成到同芯片中,
傳感器芯片具備過電壓保護電路、電磁波遮蔽電路、浪涌保護電路,尤其是浪涌,滿足標準ISO7637-level4
具備Vcc、Vout、GND配線斷開時的自診斷檢測功能
通過EPROM的冗余性確保高性
EPL4PC-R3S 500 7 -40 to 125 20 to 106.7 5.0±0.25 0.789 to 4.211 壓力
EPL6GC-R3S 500 7 -40 to 125 25 to 242 5.0±0.25 0.5 to 4.5 壓力
半導體壓電阻型
半導體壓電阻抗擴散壓力傳感器是在薄片表面形成半導體變形壓力,通過外力(壓力)使薄片變形而產生壓電阻抗效果,從而使阻抗的變化轉換成電信號。
靜電容量型
靜電容量型壓力傳感器,是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容,將通過外力(壓力)使可動極變形所產生的靜電容量的變化轉換成電氣信號。 (E8Y的動作原理便是靜電容量方式,其他機種采用半導體方式)。
有助于系統整體的小型化。另外,其適用的壓力范圍大,用途廣泛。
壓力測量
通過數字微調高精度
的偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。
其次是靈敏度誤差:產生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。
三是線性誤差:這是個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。
zui后是滯后誤差:在大多數情形中,壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
可支持大范圍的壓力測量,滿刻度100kPa - 300kPa
FUJI,富士壓力傳感器